지체 핵 방사는 방사성 감쇠 과정 중에 일어날 수 있다. 동위원소가 극히 짧은 수명을 지니는 동위원소로 붕괴하고, 이 동위원소가 또다시 다른 상대적으로 긴 수명을 지니는 동위원소로 붕괴하는 과정에서 일어난다. 단수명 동위원소는 일반적으로 준안정 이성질핵이다. 예를 들어, 갈륨-73은 베타 붕괴를 통해서 게르마늄-73m으로 붕괴하는데, 여기서 게르마늄-73m이 극히 짧은 수명을 가지는 동위원소이다. 게르마늄 동위원소는 또다시 붕괴하며, 두 개의 약한 감마선과 하나의 전환 전자를 방출한다. 게르마늄-73m과 같은 중간 과정에서 발생하는 동위원소가 매우 짧은 수명을 지니므로, 이 과정에서 발생하는 감마선은 단순히 갈륨 붕괴 과정의 하나로 치부된다. 그러므로 위의 붕괴 식은 다음과 같이 중간 과정을 생략한 하나의 붕괴 식으로 단순화 될 수 있다. 하지만, 실제로는 중간 과정이 발생하며, 처음의 베타 붕괴 및 고에너지 감마선 방출이 발생하는 시점과 세 번째와 네 번째의 저에너지 감마선이 방출되는 시점은 시간적 차이를 보이게 되므로, 저에너지 감마선은 이전 감마선에 비해 지체되었다고 언급되는 것이다.