In-plane resonant nano-electro-mechanical sensors: a comprehensive study on design, fabrication and characterization challenges.
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In-plane resonant nano-electro-mechanical sensors: a comprehensive study on design, fabrication and characterization challenges.
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2013 nî lūn-bûn
@nan
2013年の論文
@ja
2013年論文
@yue
2013年論文
@zh-hant
2013年論文
@zh-hk
2013年論文
@zh-mo
2013年論文
@zh-tw
2013年论文
@wuu
2013年论文
@zh
2013年论文
@zh-cn
name
In-plane resonant nano-electro ...... d characterization challenges.
@en
type
label
In-plane resonant nano-electro ...... d characterization challenges.
@en
prefLabel
In-plane resonant nano-electro ...... d characterization challenges.
@en
P2093
P2860
P356
P1433
P1476
In-plane resonant nano-electro ...... d characterization challenges.
@en
P2093
Faezeh Arab Hassani
Hiroshi Mizuta
Yoshishige Tsuchiya
P2860
P304
P356
10.3390/S130709364
P407
P577
2013-07-22T00:00:00Z