Neue Entwicklungen beim Hohlkatoden-GasflusssputternNew Developments in Hollow Cathode Gas Flow Sputtering
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Neue Entwicklungen beim Hohlkatoden-GasflusssputternNew Developments in Hollow Cathode Gas Flow Sputtering
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wetenschappelijk artikel
@nl
наукова стаття, опублікована в жовтні 2003
@uk
name
Neue Entwicklungen beim Hohlka ...... ow Cathode Gas Flow Sputtering
@en
Neue Entwicklungen beim Hohlka ...... ow Cathode Gas Flow Sputtering
@nl
type
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Neue Entwicklungen beim Hohlka ...... ow Cathode Gas Flow Sputtering
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@nl
prefLabel
Neue Entwicklungen beim Hohlka ...... ow Cathode Gas Flow Sputtering
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Neue Entwicklungen beim Hohlka ...... ow Cathode Gas Flow Sputtering
@nl
P356
P1476
Neue Entwicklungen beim Hohlka ...... ow Cathode Gas Flow Sputtering
@en
P2093
Thomas Jung
P304
P356
10.1002/VIPR.200300196
P577
2003-10-01T00:00:00Z