Ultra-thin atomic layer deposited TiN films: non-linear I-V behaviour and the importance of surface passivation
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Ultra-thin atomic layer deposited TiN films: non-linear I-V behaviour and the importance of surface passivation
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Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
@en
Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
@nl
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Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
@en
Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
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prefLabel
Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
@en
Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
@nl
P2093
P356
P1476
Ultra-thin atomic layer deposi ...... ortance of surface passivation
@en
P2093
A A I Aarnink
A Y Kovalgin
R A M Wolters
P304
P356
10.1166/JNN.2011.5069
P407
P50
P577
2011-09-01T00:00:00Z