Atomic layer deposition of diisopropylaminosilane on WO3(001) and W(110): a density functional theory study.
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Atomic layer deposition of diisopropylaminosilane on WO3(001) and W(110): a density functional theory study.
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Atomic layer deposition of diisopropylaminosilane on WO3
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Atomic layer deposition of dii ...... nsity functional theory study.
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Atomic layer deposition of diisopropylaminosilane on WO3
@nl
Atomic layer deposition of dii ...... nsity functional theory study.
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prefLabel
Atomic layer deposition of diisopropylaminosilane on WO3
@nl
Atomic layer deposition of dii ...... nsity functional theory study.
@en
P2093
P2860
P356
P1476
Atomic layer deposition of dii ...... nsity functional theory study.
@en
P2093
Hyo Sug Lee
Jaikwang Shin
Jieun Park
Jinseong Kim
Kyungtae Lee
Samjong Choi
Seongsuk Lee
Sueryeon Kim
Woojin Lee
Youngseon Shim
P2860
P304
29139-29146
P356
10.1039/C6CP05720A
P407
P577
2016-10-12T00:00:00Z